Įgilintų elektrinių elementų gamybos metodas

  • Patentas: EP 3975224 B1
  • Autoriai: Irmantas Kašalynas, Simonas Indrišiūnas, Pawel Prystawko, Piotr Kruszewski

Aprašymas: Išradimas susijęs su įgilintų ir ataugintų elektrinių kontaktų formavimu plataus draustinio III grupės nitridų puslaidininkiuose naudojant ultratrumpų impulsų lazerinį mikroapdirbimą.