Naujienos ir renginiai

FTMC Fizikinių technologijų skyriaus mokslininkas Algimantas Lukša tapo gamtos mokslų daktaru. Jis apgynė disertaciją „Grafeno sluoksnių ant izoliuojančių padėklų savybių tyrimas: priklausomybės nuo auginimo sąlygų ir sąveikos su aplinkos drėgme“ (mokslinis vadovas: dr.(hp) Arūnas Šetkus).

Sveikiname kolegą ir linkime kūrybingų mokslinių pasiekimų!

Algimantas disertacijoje pristatė, kaip galima užauginti į grafeną panašų sluoksnį žemesnėje auginimo temperatūroje nei standartiniame cheminių garų nusodinimo procese, tai atliekant tiesiogiai ant dielektrinio padėklo. Tai daug paprastesnis metodas nei standartinis cheminis garų nusodinimas, kuris reikalauja aukštų auginimo temperatūrų (≈ 1000 ºC) ir papildomo katalizatoriaus sluoksnio auginimui.

„Kadangi standartiniame procese sluoksnis užauginamas ant katalizatoriaus, sluoksnio pritaikymui reikalinga perkėlimo technologija. Auginimo temperatūros sumažinimui ir tiesioginiam auginimui ant dielektrinio padėklo disertacijoje buvo panaudotas plazma inicijuotas cheminis garų nusodinimas, kuriame anglies prekursorius suskaldomas plazmos pagalba ir tokiu būdu sumažinama auginimo temperatūra. Taip pat disertacijoje buvo pademonstruotas užaugintų sluoksnių pritaikymas vandens garų / lašo detekcijai. Nors ir sluoksniai nėra tobuli, jie yra tinkami detektorių formavimui“, – savo darbą pristato naujasis fizikos mokslų daktaras.

Algimantas sako, kad galimybė auginti tiesiogiai ant padėklo į grafeną panašius sluoksnius palengvina tokių sluoksnių integravimą į prietaisų kūrimo technologijas. Tai leidžia gaminti ir kurti įvairius jutiklius, detektorius ar kitokius prietaisus.

„Daugiausia sunkumų disertacijos darbe sukėlė pačio sluoksnio auginimas. Turima auginimo įranga nėra skirta tokių sluoksnių auginimui, todėl reikėjo įdėti nemažai darbo kol buvo gautas bent minimalus rezultatas. Todėl labiausiai džiaugiuosi, kad pavyko užauginti sluoksnius tiesiai ant dielektrinio padėklo. Be to smagu, jog pavyko pademonstruoti sluoksnio pritaikymą vandens garų / lašo detektoriaus formavimui“, – pasiektais rezultatais džiaugiasi dr. A. Lukša.

FTMC informacija